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大型集成电路生产用超纯水设备工艺解析

文章作者：莱特莱德发布时间：2022-08-10

大型集成电路生产用超纯水设备顾名思义主要应用于集成电路生产用水，该设备引进国外进口元件，结合国内外制水经验，选用先进的反渗透技术和EDI技术相结合，有效去除水中的各种杂质。大型集成电路生产用超纯水设备具有出水水质好，操作简单，制水效果明显等特点。

大型集成电路生产用超纯水设备工艺

1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光树脂→精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(传统工艺)

2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光树脂→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(新工艺)

3、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)(新工艺)

4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)(新工艺)

5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)(传统工艺)

大型集成电路生产用超纯水设备特点

1、整体化程度高、易于扩展、增加膜数量即可增加处理量。

2、自动化程度高，遇故障立即自停，具有自动保护功能。

3、膜组件为复合膜卷制而成，表现出更高的溶质分离率和透过速率。

4、能耗低、水利用率高、运行成本低。

5、结构合理，占地面积少。

6、先进的膜保护系统，在设备关机，淡化水可自动将膜面污染物冲洗干净，延长膜寿命。

7、系统无易损部件，无须大量维修，运行长期有效。

8、设备设计有膜清洗系统用阻垢系统。

莱特莱德专注于水处理技术十余年，积累了丰富的水处理经验。系统中水箱均设有液控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人职守，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使设备与其它同类产品相比较，集成电路用超纯水设备具有更高的性价比和设备可靠性。

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